传感器原理及其应用
作者:温殿忠、赵晓锋、张振辉
出版时间:2008年
传感器是人类获取各种信息的有利工具,它相当于人的“五官”并且是“五官”的伸延。传感器正在向小型化、高准确度、集成化和智能化方向发展,新技术、新工艺、新材料也使其制造成本不断降低,性能指标不断提高,应用面不断扩大。本书系统地叙述了磁敏感元器件与磁传感器领域内主要几种磁敏感元器件与磁传感器的基本结构、工作原理、主要特性及其应用;在阐述弹性元件的力学分析的基础上,详细叙述了力学量敏感元器件与传感器领域内的压电效应与压电式压力传感器和压电式加速度传感器、压阻效应与扩散硅式压阻压力传感器和加速度传感器、电容式传感器的基本结构、工作原理、主要特性及其应用,并详细阐述了硅各向异性腐蚀技术;最后介绍了温(热)敏元器件领域内的热敏半导瓷电阻、温敏二极管、温敏晶体管与集成电路温度传感器等敏感元器件与传感器的工作原理、基本结构、主要特性及其应用。