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YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

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大小：3.12 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：金属冶金
更新日期：2019-05-15

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关键词：绝缘体椭圆薄膜厚度测试

资源简介

YS∕T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

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