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DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法

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大小：1.73 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：综合地方太阳城
更新日期：2022-12-16

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关键词：探针方块无损薄膜电阻

资源简介

本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。
本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定﹐方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104Ω

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