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SJ 21536-2018 微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片规范

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大小：5.56 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：电子信息
更新日期：2022-09-15

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关键词：器件微波集成电路功率外延

资源简介

本规范规定了微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片(以下简称砷化镓外延片)的技术要求、质量保证规定、交货准备等内容。
本规范适用于砷化镓微波功率器件和砷化镓微波单片集成电路(MMIC)用砷化镓外延片，其他砷化镓外延片可参照使用。

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