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T/CIE 132-2022 磁控溅射设备薄膜精度测试方法
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大小:
2.69 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
电子信息
更新日期:
2023-03-02
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关键词:
薄膜
精度
磁控溅射
CIE
中国电子学会
资源简介
本文件规定了磁控溅射设备薄膜精度的测试方法,测试原理,被测件,测试环境和测试程序等。
本文件适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。
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