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> GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
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大小:
2.78 MB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
电子信息
更新日期:
2023-09-07
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关键词:
衍射
半导体
射线
晶体
质量
资源简介
本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽,进而评价半导体单晶晶体质量的方法。
本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试,硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照本文件执行。
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