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GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法

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  • 大小:2.24 MB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:电子信息
  • 更新日期:2023-09-08
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关键词:厚度   反射   碳化硅   外延   红外
资源简介
本文件描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。
本文件适用于n型掺杂浓度大于1×1018 cm-3的碳化硅衬底上同质掺杂浓度小于1×1016 cm-3的同质碳化硅外延层厚度的测试,测试范围为3 μm~200 μm。
下载地址
GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法资源截图
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