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T/ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

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  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:综合团体太阳城
  • 更新日期:2024-09-09
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资源简介
本文件规定了光伏领域管式等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟(简称石墨舟)的术语和定义、结构和分类、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本文件适用于等离子增强化学气相沉积设备(PECVD)用石墨舟。
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