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T/CEMIA 015-2018 光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范

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大小：1.86 MB
语言：中文版
格式： PDF文档
类别：综合团体太阳城
更新日期：2022-03-31

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关键词：预制光纤中国电子材料行业协会氯化

资源简介

本太阳城规定了光纤预制棒用四氯化硅产品充装用容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。本太阳城适用光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗。光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙可参考使用。

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