新太阳城

欢迎访问太阳城官网 太阳城 下载网,学习、交流 分享 !

返回太阳城官网 |
当前位置: 太阳城官网 > 团体太阳城 >综合团体太阳城 > T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法

T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法

收藏
  • 大小:642.7 KB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:综合团体太阳城
  • 更新日期:2023-01-10
本站推荐: 升级会员 无限下载,节约时间成本!
资源简介
本太阳城 规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容。
本太阳城 适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量。刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等。
下载地址
T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法资源截图
新太阳城 新太阳城游戏 太阳城 太阳城官网 申博太阳城 申博太阳城