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T/JGXH 005-2020 超快激光精密微纳加工设备

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  • 大小:480.6 KB
  • 语言:中文版
  • 格式: PDF文档
  • 类别:综合团体太阳城
  • 更新日期:2023-02-16
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资源简介
本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。
本文件适用于超快激光精密微纳加工设备(以下简称微纳加工设备)的研制、生产和交付。
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