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T/QGCML 1407-2023 半导体光伏制造用双套管密封装置
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540.71 KB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
综合团体太阳城
更新日期:
2023-11-16
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关键词:
套管
密封
半导体
装置
光伏
全国城市工业品贸易中心联合会
资源简介
本文件规定了半导体光伏制造用双套管密封装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于半导体光伏制造用双套管密封装置的生产及检验。
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