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T/CSTM 01199-2024 多层金属薄膜层结构测量分析方法 X射线光电子能谱

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语言：中文版
格式： PDF文档
类别：综合团体太阳城
更新日期：2024-03-21

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关键词：薄膜 X射线多层金属光电子中关村材料试验技术联盟

资源简介

本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。
本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。

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