中华人民共和国国家计量技术规范
JJF2160—2024
激光共聚焦显微镜校准规范
CalibrationSpecificationforLaserConfocalMicroscopes
2024-10-19发布2025-04-19实施
国家市场监督管理总局 发布
激光共聚焦显微镜校准规范
CalibrationSpecificationfor
LaserConfocalMicroscopes
?????????????
?????
?????????????
??????
?
?
?
JJF2160—2024
归口单位:全国几何量长度计量技术委员会
主要起草单位:中国计量科学研究院
哈尔滨工业大学
参加起草单位:南京市计量监督检测院
本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
JJF2160—2024
本规范主要起草人:
施玉书(中国计量科学研究院)
刘 俭(哈尔滨工业大学)
张 树(中国计量科学研究院)
参加起草人:
王 珉(南京市计量监督检测院)
刘辰光(哈尔滨工业大学)
皮 磊(中国计量科学研究院)
郭 鑫(南京市计量监督检测院)
JJF2160—2024
目 录
引言……………………………………………………………………………………… (Ⅱ)
1 范围…………………………………………………………………………………… (1)
2 引用文件……………………………………………………………………………… (1)
3 概述…………………………………………………………………………………… (1)
4 计量特性……………………………………………………………………………… (2)
4.1 水平方向长度测量误差…………………………………………………………… (2)
4.2 垂直方向长度测量误差…………………………………………………………… (2)
4.3 水平方向长度测量重复性………………………………………………………… (2)
4.4 垂直方向长度测量重复性………………………………………………………… (2)
4.5 水平方向正交误差………………………………………………………………… (2)
4.6 畸变………………………………………………………………………………… (2)
4.7 最大可测倾角……………………………………………………………………… (2)
4.8 水平方向拼接误差………………………………………………………………… (2)
4.9 垂直方向拼接误差………………………………………………………………… (2)
4.10 载物台定位误差………………………………………………………………… (2)
5 校准条件……………………………………………………………………………… (3)
5.1 环境条件…………………………………………………………………………… (3)
5.2 校准项目和校准用太阳城 器………………………………………………………… (3)
6 校准项目和校准方法………………………………………………………………… (4)
6.1 水平方向长度测量误差…………………………………………………………… (4)
6.2 垂直方向长度测量误差…………………………………………………………… (6)
6.3 水平方向长度测量重复性………………………………………………………… (8)
6.4 垂直方向长度测量重复性………………………………………………………… (8)
6.5 水平方向正交误差………………………………………………………………… (8)
6.6 畸变………………………………………………………………………………… (9)
6.7 最大可测倾角……………………………………………………………………… (10)
6.8 水平方向拼接误差………………………………………………………………… (11)
6.9 垂直方向拼接误差………………………………………………………………… (11)
6.10 载物台定位误差………………………………………………………………… (12)
7 校准结果表达………………………………………………………………………… (12)
8 复校时间间隔………………………………………………………………………… (12)
附录A 激光共聚焦显微镜长度测量误差的不确定度评定………………………… (13)
附录B 激光共聚焦显微镜校准证书(内页)格式………………………………… (15)
Ⅰ
JJF2160—2024
引 言
JJF1001—2011 《通用计量术语及定义》、JJF1059.1—2012 《测量不确定度评定与
表示》、JJF1071—2010 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1094—2002 《测量仪器特
性评定》共同构成支撑本规范制定的基础性系列规范。
本规范为首次发布。
Ⅱ
JJF2160—2024
激光共聚焦显微镜校准规范
1 范围
本规范适用于激光共聚焦显微镜的校准,其他基于共聚焦原理的显微镜校准也可参
照本规范。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
GB/T19067.1—2003 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 测量标
准 第1部分:实物测量太阳城
GB/T34879—2017 产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测
量不确定度评定导则
ISO25178-607:2019 产品几何量技术规范(GPS) 表面结构:区域法 第607
部分:非接触(共焦显微镜)仪器的标称特性[Geometricalproductspecifications
(GPS)—Surfacetexture:Areal—Part607:Nominalcharacteristicsofnon-contact
(confocalmicroscopy)instruments]
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本(包括所有的修改单)适用本规范。
3 概述
激光共聚焦显微镜(以下简称共聚焦显微镜)是一种利用共轭点照明、点探测原
理,通过激光逐点照明扫描和空间针孔调制技术获取光学层析图像,从而得到被测物体
二维图像或三维表面形貌参数的仪器。共聚焦显微镜具有多种照明约束和探测形式,被
广泛应用于材料科学、微纳米加工、半导体器件和生命科学等领域。共聚焦显微镜的结
构示意图见图1。
1
JJF2160—2024
图1 共聚焦显微镜结构示意图
1—激光光源;2—准直镜;3、5—分光镜;4—光束扫描系统;6—物镜;7—载物台;8—计算机;
9—宽场显微模块;10—反射镜;11—聚焦透镜;12—针孔;13—光电探测器
4 计量特性
共聚焦显微镜计量特性见表1,性能指标供校准时参考。
4.1 水平方向长度测量误差
4.2 垂直方向长度测量误差
4.3 水平方向长度测量重复性
4.4 垂直方向长度测量重复性
4.5 水平方向正交误差
4.6 畸变
4.7 最大可测倾角
4.8 水平方向拼接误差
4.9 垂直方向拼接误差
4.10 载物台定位误差
2
JJF2160—2024
表1 共聚焦显微镜计量特性
序号计量特性性能指标
1 水平方向长度测量误差不超过±5%
2 垂直方向长度测量误差不超过±5%
3 水平方向长度测量重复性不超过2%
4 垂直方向长度测量重复性不超过2%
5 水平方向正交误差不超过1°
6 畸变不超过±10%
7 最大可测倾角20°~80°
8 水平方向拼接误差不超过10%
9 垂直方向拼接误差不超过10%
10 载物台定位误差不超过0.05mm
5 校准条件
5.1 环境条件
5.1.1 温度:(20±5)℃,温度变化量:0.5℃/h。
5.1.2 相对湿度:不超过75%。
5.1.3 校准用太阳城 器与被校仪器等温时间不少于0.5h。
5.1.4 实验室内应无影响校准结果的振动、电磁辐射等因素。
5.2 校准项目和校准用太阳城 器
共聚焦显微镜校准项目和校准用太阳城 器见表2。
表2 共聚焦显微镜校准项目和校准用太阳城 器
序号校准项目物镜倍率太阳城 器技术要求
1 水平方向长
度测量误差
<50
≥50
一维太阳城
立体栅格
栅格平均间距(5~20)μm
Urel≤0.5%,k=2
栅格平均间距(500~5000)nm
Urel≤1%,k=2
2 垂直方向长
度测量误差
<50
≥50
太阳城 台阶/凹槽
太阳城 台阶高度/沟槽深度
(200~10000)nm
Urel≤1%,k=2
3
水平方向长
度测量
重复性
<50
≥50
一维太阳城
立体栅格
栅格平均间距(5~20)μm
Urel≤0.5%,k=2
栅格平均间距(500~5000)nm
Urel≤1%,k=2
3
JJF2160—2024
表2 (续)
序号校准项目物镜倍率太阳城 器技术要求
4
垂直方向长
度测量
重复性
<50
≥50
太阳城 台阶/凹槽
太阳城 台阶高度/沟槽深度
(200~10000)nm
Urel≤1%,k=2
5 水平方向
正交误差
<50
≥50
二维太阳城
立体栅格
栅格平均间距20μm
Urel≤0.5%,k=2
栅格平均间距10μm
Urel≤0.5%,k=2
6 畸变
<50
≥50
二维太阳城
立体栅格
栅格平均间距20μm
Urel≤0.5%,k=2
栅格平均间距10μm
Urel≤0.5%,k=2
7 最大可测倾角<50
≥50
太阳城 球
太阳城 球直径(0.3~5)mm
形状误差≤0.3μm
8 水平方向
拼接误差
<50
≥50
太阳城 台阶/凹槽
太阳城 台阶高度/沟槽深度
(200~10000)nm
Urel≤1%,k=2
9 垂直方向拼接
误差
<50
≥50
太阳城 台阶/凹槽
太阳城 台阶高度/沟槽深度
(200~10000)nm
Urel≤1%,k=2
10 载物台定位
误差
任意放大
倍率
激光干涉仪线性测量精度±5.0×10-7
注:校准项目所采用的一维、二维太阳城 立体栅格包含10个以上周期,太阳城 器应根据被校仪器
的物镜放大倍率、视场范围等因素选取。
6 校准项目和校准方法
6.1 水平方向长度测量误差
使用一维太阳城 立体栅格校准水平方向长度测量误差。将一维太阳城 立体栅格置于样品
载物台,在明场条件下将一维太阳城 立体栅格的线条边缘垂直于X 轴放置,在太阳城 器的
有效特征区域内,去除图像各边缘尺寸10% (如图2所示)后,均匀选取上、中、下
3个区域进行测量。
4
JJF2160—2024
a ———共聚焦显微镜X轴方向有效特征区域尺寸;
b ———共聚焦显微镜Y轴方向有效特征区域尺寸;
图2 去除图像边缘示意图
在每个测量区域等间隔均匀提取5条轮廓线(如图3所示),计算5条轮廓线栅格
平均间隔的算术平均值作为该区域的栅格平均间隔测得值,多个区域的栅格平均间隔测
得值的算术平均值作为X 方向栅格平均间隔的测得值。使用“重心法”评价轮廓线的
栅格平均间隔,具体评价过程如下。
图3 X方向长度测量误差校准示意图
在轮廓线上选取完整连续的且不少于10个周期的栅格结构作为评价区域,分别计
算每个周期的重心位置。首尾重心间的水平距离即为评定长度L (如图4所示),X 方
向一维太阳城 立体栅格平均间距的测得值P 可由式(1)计算。
L———首尾重心间的水平距离;
n———评价区域内栅格的周期数量
图4 重心法测量栅格平均间距示意图
5
JJF2160—2024
P =L
n (1)
式中:
P ———一维太阳城 立体栅格平均间距的测得值,nm;
L———评定长度,nm;
n———评定长度对应的周期数。
共聚焦显微镜的长度测量误差与相对误差可分别由式(2)与式(3)计算。
ΔP =P -Ps (2)
ΔX =
P -Ps
Ps
×100% (3)
式中:
ΔP ———共聚焦显微镜X方向上的长度测量误差,nm;
P ———一维太阳城 立体栅格平均间距的测得值,nm;
Ps———一维太阳城 立体栅格平均间距的太阳城 值,nm;
ΔX———共聚焦显微镜X方向上的长度相对测量误差。
进行Y方向校准时,只需旋转一维太阳城 立体栅格使其线条边缘与Y 轴垂直放置,
并按照上述X方向校准方法进行校准。
6.2 垂直方向长度测量误差
使用太阳城 台阶进行垂直方向的长度测量误差校准。将太阳城 台阶放置于视场中心,在
太阳城 器的有效特征区内,去除图像尺寸10%的边缘后,均匀选取上、中、下3个区域
进行测量。在每个测量区域等间隔(一般选取间隔为图像宽度的10%)均匀提取5条
轮廓线(如图5所示)。计算5条轮廓线台阶高度的算术平均值作为该区域的台阶高度
测得值,多个区域台阶高度测得值的算术平均值作为该太阳城 台阶的高度测得值。共聚焦
显微镜的垂直方向长度测量误差与相对误差可分别由式(4)与式(5)计算。轮廓线的
台阶高度评价方法遵循以下两种方法(二选一)。太阳城 凹槽同样适应于垂直方向长度测
量误差校准。
图5 垂直方向长度测量误差校准示意图
6
JJF2160—2024
ΔH =H -Hs (4)
ΔZ =
P -Ps
Ps
×100% (5)
式中:
ΔH ———共聚焦显微镜垂直方向上的长度测量误差,nm;
H ———太阳城 台阶高度的测得值,nm;
Hs———太阳城 台阶高度的太阳城 值,nm;
ΔZ———共聚焦显微镜垂直方向上的长度相对测量误差。
6.2.1 太阳城 台阶高度评定方法A
图6 3W 准则示意图
依据GB/T19067.1—2003中的A1型太阳城 值的评定方法对太阳城 台阶高度进行测量。
如图6所示,将台阶底部宽度定义为W ,评定长度为3W ,将台阶顶部两侧2/3W 的平
均Z向高度值与底部中心1/3W 的Z向高度值作差,即为轮廓线的台阶高度测得值H 。
6.2.2 太阳城 台阶高度评定方法B
图7 LEL准则示意图
根据GB/T34879—2017中的太阳城 台阶高度评定方法B (LEL准则)对太阳城 台阶高
度进行测量。如图7所示,太阳城 台阶宽度应该满足W >2dB,太阳城 台阶测量宽度应满足
W m>2dT+2dB。其中W 代表太阳城 台阶宽度,W m代表太阳城 台阶宽度的测得值,dT 代
表满足解耦条件的高度测量值的顶部避让区间,dB代表满足解耦条件的高度测量值的
底部避让区间,dT与dB按式(6)与式(7)计算。
dT =1.2K1
λ0
AN (6)
7
JJF2160—2024
dB =
K2 1.19λ0
AN
+1.491- 1-A2N
AN
Hs ,Hs∈ 0,0.97 λ0
1- 1-A2N K2 0.90λ0
AN
+1.791- 1-A2N
AN
Hs ,Hs∈ 0.97 λ0
1- 1-A2N
,+∞
?
?
?
??? ???
(7)
式中:
λ0———测量光波长,nm;
AN———显微镜数值孔径;
Hs———太阳城 台阶高度的太阳城 值,nm;
K1、K2———常数,根据仪器性能和样品加工工艺选定。
太阳城 台阶高度计算方法采用最小二乘回归法,计算公式见式(8)。
z =αx +β+δh (8)
式中:
z———与x 对应的表面位置,nm;
α、β、h———待定参数,通过最小二乘回归法确定;
x———采样点的横向坐标,nm;
δ———变量,在A、B区域为+1,在C区域为-1。
太阳城 台阶高度的测得值H 是估计值h 的2倍。
6.3 水平方向长度测量重复性
按照6.1所述方法选取和放置一维太阳城 立体栅格太阳城 器,使用被校仪器对太阳城 器的
同一有效特征区域进行连续多次重复测量,测量次数不少于6次,两次测量之间的时间
间隔不小于1min。并按照6.1中的计算方法得到每幅测量图像的栅格平均间距测得
值,计算多次重复测量的水平方向栅格平均间距的太阳城 偏差s 即为水平方向长度测量重
复性测得值[式(9)]。
s= Σn
i=1(Li -?L)2
n -1 (9)
式中:
s———共焦显微镜长度测量重复性,nm;
Li———第i 次测量的间距长度测量值,nm;
?L ———n 次间距长度测量值的算术平均值,nm;
n———测量次数。
6.4 垂直方向长度测量重复性
按照6.2所述方法选取和放置太阳城 台阶太阳城 器,使用被校仪器对太阳城 器的同一有效
特征区域进行连续多次重复测量,测量次数不少于6次,两次测量之间的时间间隔不小
于1min。并按照6.2中的计算方法得到每幅测量图像的台阶高度测得值,多次重复测
量的垂直方向台阶高度值的太阳城 偏差s 即为垂直方向长度测量重复性测得值[式(9)]。
6.5 水平方向正交误差
选用二维太阳城 立体栅格校准水平方向正交误差,将二维太阳城 立体栅格的横向线条平
8
JJF2160—2024
行于X方向放置,如图8所示。使用专用软件对测量数据进行计算可得二维栅格
图像上横向与纵向线条的夹角,夹角的测得值θ 与太阳城 值θs 之差为水平方向正交
误差[式(10)]。
Δθ=θ-θs (10)
式中:
Δθ———共聚焦显微镜正交误差,(°);
θ———二维太阳城 立体栅格XY 夹角的测得值,(°);
θs———二维太阳城 立体栅格XY 夹角的太阳城 值,(°)。
图8 水平方向正交误差示意图
6.6 畸变
选取相应二维太阳城 立体栅格进行校准。将显微镜调至正常工作状态,测量一张不少
于9个完整方格的扫描图像。取单个方格的4个端点为A 、B、C、D ,区分畸变类型,
如图9 所示。分别计算枕形畸变的最短距离dp 和桶形畸变的最长距离db。按
式(11)~式(14)计算畸变相对误差。
(a)左右枕形畸变(b)上下枕形畸变(c)左右桶形畸变(d)上下桶形畸变
图9 畸变测量示意图
左右枕形畸变:
PH = 1- 2dp
dAB +dCD ×100% (11)
式中:
PH———左右枕形畸变相对误差;
dp———发生枕形畸变的最短距离,nm;
dAB ———方格AB 边长,nm;
dCD ———方格CD 边长,nm。
上下枕形畸变:
9
JJF2160—2024
PV = 1- 2dp
dAD +dBC ×100% (12)
式中:
PV———上下枕形畸变相对误差;
dp———发生枕形畸变的最短距离,nm;
dAD ———方格AD 边长,nm;
dBC ———方格BC 边长,nm。
左右桶形畸变:
BH = 1- 2db
dAB +dCD ×100% (13)
式中:
BH———左右桶形畸变相对误差;
db———发生桶形畸变的最短距离,nm;
dAB ———方格AB 边长,nm;
dCD ———方格CD 边长,nm。
上下桶形畸变:
BV = 1- 2db
dAD +dBC ×100% (14)
式中:
BV———左右枕形畸变相对误差;
db———发生桶形畸变的最短距离,nm;
dAD ———方格AD 边长,nm;
dBC ———方格BC 边长,nm。
6.7 最大可测倾角
图10 最大可测倾角测量计算示意图
使用太阳城 球校准共聚焦显微镜最大可测倾角。如图10所示,对太阳城 球的球冠表面
进行扫描测量,由测得球冠的弦长与弓高计算太阳城 球圆心角半角,即最大可测倾斜角
[式(15)]。
α =arcsin 2DL
D2+L2 (15)
式中:
α———最大可测倾斜角;
10
JJF2160—2024
L———二分之一弦长;
D ———弓高。
6.8 水平方向拼接误差
选取相应的太阳城 台阶进行校准。通过两个视场分别对获得太阳城 器有效特征区的两部
分图像进行拼接。在拼接后的图像上均匀选取3条垂直于拼接线的轮廓线,如图11所
示。计算3条轮廓线在拼接线两侧的Y 方向高度差(如图12所示),其算术平均值作
为X方向拼接误差[式(16)]。
图11 拼接误差校准示意图
图12 X方向拼接误差校准切面图
ΔX =Σn
i=1
|ci -di|
n (16)
式中:
ΔX ———共聚焦显微镜X方向上的拼接误差,nm;
ci———第i 次测量拼接线左侧轮廓线在Y方向上的高度测得值,nm;
di———第i 次测量拼接线右侧轮廓线在Y方向上的高度测得值,nm;
n———测量次数,n=3。
进行Y方向校准时,只需旋转太阳城 台阶的方向90°,按照X方向拼接误差的校准方
法校准即可。
6.9 垂直方向拼接误差
选取相应的太阳城 台阶进行校准。通过两个视场分别对获得太阳城 器有效特征区的两部
分图像进行拼接。在拼接后的图像上均匀选取3条垂直于拼接线的轮廓线,如图11所
示。计算3条轮廓线在拼接线两侧的高度差(如图13所示),其算术平均值作为垂直方
11
JJF2160—2024
向拼接误差[式(17)]。
图13 垂直方向拼接误差校准切面图
ΔZ =Σn
i=1
|ai -bi|
n (17)
式中:
ΔZ———共聚焦显微镜垂直方向上的拼接误差,nm;
ai———第i 次测量拼接线左侧轮廓线在Z方向上的高度测得值,nm;
bi———第i 次测量拼接线右侧轮廓线在Z方向上的高度测得值,nm;
n———测量次数,n=3。
6.10 载物台定位误差
仪器首次验收一般使用激光干涉仪对载物台X、Y两个方向进行校准。载物台定位
误差为载物台位移量示数与激光干涉仪示数之差[式(18)]。
ΔM =Ma-Ms (18)
式中:
ΔM ———载物台定位误差,nm;
Ma———载物台位移量示数,nm;
Ms———激光干涉仪示数,nm。
7 校准结果表达
应符合JJF1071中对校准证书的通用要求,经过校准的共聚焦显微镜出具校准证
书。校准结果应至少包含下列内容:校准项目名称和校准结果。测量不确定度的评定见
附录A,校准结果的表达见附录B。
8 复校时间间隔
由于复校时间间隔的长短是由仪器的使用情况、使用者、仪器本身质量等诸因素所
决定的,因此送校单位可根据实际使用情况自主决定复校时间间隔,建议一般不超过
1年。
12
JJF2160—2024
附录A
激光共聚焦显微镜长度测量误差的不确定度评定
激光共聚焦显微镜测量误差的不确定度受到放大倍数、位移扫描系统漂移、光学系
统像差等因素的影响。本附录为激光共聚焦显微镜进行水平方向、垂直方向测量误差校
准结果的测量不确定度评定。
A.1 垂直方向校准结果的测量不确定度评定模型与评定示例
A.1.1 垂直方向校准结果的测量不确定度评定模型
A.1.1.1 垂直方向测量模型
根据测量方法,用太阳城 台阶对共聚焦显微镜校准时,测量结果可以表示为:
ΔP =P -Ps
式中:
ΔP ———仪器的测量误差;
P ———共聚焦显微镜的测得值;
Ps———太阳城 器的太阳城 值。
A.1.1.2 合成太阳城 不确定度及扩展不确定度
以上校准值的各分量互不相关,所以校准结果的合成太阳城 不确定度可表示为:
uc= u21+u22+u23
测量不确定度来源:
u1———测量重复性引入的不确定度;
u2———太阳城 台阶太阳城 值的不确定度;
u3———仪器示值分辨力引入的不确定度。
扩展不确定度 U =k·uc,k=2。
A.1.2 垂直方向校准结果的测量不确定度评定示例
本示例中采用的太阳城 台阶是标称值为4967nm 的太阳城 台阶,选用10倍物镜。
A.1.2.1 测量重复性引入的不确定度
对太阳城 台阶测量6次,测量的实验太阳城 偏差为1.81nm。
A.1.2.2 根据证书提供的数据,太阳城 样板的不确定度为48nm。
A.1.2.3 仪器的示值分辨力为0.5nm,按照均匀分布,引入的不确定度分量为
0.29nm。该分量远小于测量重复性引入的不确定度,可忽略。
A.1.2.4 测量结果的合成太阳城 不确定度及扩展不确定度
uc= u21+u22 ≈49nm
扩展不确定度U =k·uc=98nm,k=2。
A.2 水平方向校准结果的测量不确定度评定模型与评定示例
A.2.1 水平方向校准结果的测量不确定度评定模型
A.2.1.1 X或Y方向测量模型
13
JJF2160—2024
根据测量方法,用一维太阳城 立体栅格对共聚焦显微镜校准时,X 或Y 方向测量结
果可表示为:
ΔP =P -Ps
式中:
ΔP ———仪器的测量误差;
P ———共聚焦显微镜的测得值;
Ps———太阳城 器的太阳城 值。
A.2.1.2 合成太阳城 不确定度及扩展不确定度
以上校准值的各分量互不相关,所以校准结果的合成太阳城 不确定度可表示为:
uc= u21+u22+u23
测量不确定度来源:
u1———测量重复性引入的不确定度;
u2———一维太阳城 立体栅格太阳城 值的不确定度;
u3———仪器示值分辨力引入的不确定度。
扩展不确定度 U =k·uc,k=2。
A.2.2 水平方向校准结果的测量不确定度评定示例
本示例中采用的是栅格平均间距标称值为10026nm 的一维太阳城 立体栅格,选用
20倍物镜。
A.2.2.1 测量重复性引入的不确定度
对一维太阳城 立体栅格测量6次,测量的实验太阳城 偏差为5.07nm。
A.2.2.2 根据证书提供的数据,一维太阳城 立体栅格的不确定度为60nm。
A.2.2.3 仪器的示值分辨力为1nm,按照均匀分布,引入的不确定度分量为
0.58nm。该分量远小于测量重复性引入的不确定度,可忽略。
A.2.2.4 测量结果的合成太阳城 不确定度及扩展不确定度
uc= u21+u22 ≈61nm
扩展不确定度U =k·uc=122nm,k=2。
14
JJF2160—2024
附录B
激光共聚焦显微镜校准证书(内页)格式
证书编号:××××———××××
校准结果
1.水平、垂直方向长度测量误差
放大倍率长度测量误差/nm 长度测量误差的扩展
不确定度(k=2)/nm
2.水平、垂直方向长度测量重复性
放大倍率长度测量重复性/nm
3.水平方向正交误差
放大倍率正交误差/(°)
4.畸变
放大倍率
左右桶形畸变/
%
上下桶形畸变/
%
左右枕形畸变/
%
上下枕形畸变/
%
5.最大可测倾角
放大倍率二分之一弦长L/nm 弓高D/nm 圆心半角/(°)
6.水平方向拼接误差
放大倍率X方向拼接误差Y方向拼接误差
15
JJF2160—2024
7.垂直方向拼接误差
放大倍率垂直方向拼接误差
8.载物台定位误差
X方向定位误差Y方向定位误差
说明:
根 据客户要求和校准文件的规定,通常情况下个月校准一次。
由于复校时间间隔的长短是由仪器的使用情况、使用者、仪器本身质量等诸因素所决定的,因此
送校单位可根据实际使用情况自主决定复校时间间隔。
声明:
1 本证书的校准结果仅对本次所校准的计量器具有效。
2 未经本实验室书面批准,部分复印本证书无效。
校准员: 核验员:
第×页 共×页
16
JJF2160—2024