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T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
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大小:
250.33 KB
语言:
中文版
格式:
PDF文档
类别:
综合团体太阳城
更新日期:
2023-02-15
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关键词:
仿真
MEMS
传感器
汽车
NLIA
武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟
武汉激光学会
资源简介
本文件规定了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息,包含了汽车MEMS 压力传感器灌封工艺仿真的基本流程:仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。
本文件用于指导汽车MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用,以促进传感器工艺仿真模型的使用和灌封工艺的改良。
本文件适用的汽车MEMS 压力传感器产品包括:
汽车胎压传感器;
机油压力传感器;
燃油压力传感器;
燃油蒸汽压力传感器;
制动真空度传感器;
汽车尾排气压力传感器等。
注:上述传感器大多基于但不限于硅压阻式工作原理。
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